簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Chao-Chang Chen".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="富勒烯"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢： 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務 ：

    我的檢索策略

  • 排序：

      
    • 儲存 列印 E-mail 收藏

    已勾選0筆資料

      本頁全選

    1
    富勒烯複合拋光液應用於電致動力輔助銅化學機械拋光研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生： 邱上峰   指導教授： 陳炤彰
    • 隨著積體電路(Integrated Circuit, IC)迅速發展演進，晶圓上金屬導線之線寬隨科技發展越來越小，在微型化發展過程中，為達金屬導線線寬微小化之目的，則需進行高解析度之微影製程，晶圓表…
    • 點閱：360  下載：1 

    2
    富勒烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓化學機械拋光之研究
    • 機械工程系 /108/ 碩士
    • 研究生： 華振廷   指導教授： 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)擁有高崩潰電壓、寬能隙及高熱傳導率之材料特性，因此像是電動車等高功率元件市場上有較大的需求，然而單晶碳化矽晶圓具有高硬度與高抗化學之材料性質…
    • 點閱：296  下載：3 
    1